Atonarp，半導體工藝控制原位實時高靈敏度計量領域的領頭企業(yè)，在全球范圍內正式發(fā)布并銷售其 Aston 平臺。這是 Atonarp 公司全球發(fā)展進程中的一座重要里程碑。

Aston 是一款緊湊型質譜儀，可提供準確、實時的工藝化學數(shù)據(jù)，其分子濃度測量靈敏度可達十億分之一。這些數(shù)據(jù)能讓半導體制造 FAB 實現(xiàn)高效運行，從而提高產量和吞吐量，為 FAB 運營商帶來巨大的經(jīng)濟利益。

隨著這一消息的宣布，Atonarp 正向韓國和美國的領先半導體 FAB 和設備制造商交付了 Aston Impact。此外，Atonarp 還向客戶交付數(shù)十臺 Aston ，供客戶在其先進工藝中進行評估，以優(yōu)化其工藝和制造效率。

Atonarp 公司產品營銷副總裁 Martin Mason 說：“在分子水平上快速檢測、量化并提供可操作的工藝控制數(shù)據(jù)的能力，對于先進半導體制造工藝來說意義重大。對于一個典型的 FAB 來說，即使吞吐量只增加百分之一，每年也能增加數(shù)千萬美元的產量。Aston 十分清楚其潛力，在這其中，速度和靈敏度對分子水平的工藝控制效率來說十分重要。”

計量是半導體制造的一個重要部分，在生產設備內測量多種氣體的濃度，可以確保滿足工藝余量，同時盡量減少浪費。以前的解決方案依賴于光發(fā)射光譜測量和殘余氣體分析儀，但這些傳統(tǒng)方法已不能滿足當今先進存儲器和邏輯工藝所需的速度和靈敏度。相反，Aston 使用創(chuàng)新質譜技術，采用同類最佳傳感器，可提供快速的結果和出色的靈敏度，以及抵抗腐蝕性氣體和冷凝物所需的堅固性。

Aston 為先進半導體應用提供可操作數(shù)據(jù)，如原子水平沉積 (ALD) 和 sub-fab 操作等。Aston 靈敏度低于十億分之平方根赫茲 (9ppb√Hz)，比競爭對手的解決方案高十倍，且不影響收集數(shù)據(jù)的速度。

Atonarp 正積極開展合作，為半導體領域的新應用以及需要實時、敏感氣體分析的應用（如石油和天然氣以及凍干法工藝控制）開發(fā) Aston 平臺。

Aston 已取得多項認證和資格，包括 EN55032（歐盟）、EN55035（歐盟）、FCC part 15（美國）、ICES-003（加拿大）、VCCI CISPR-32（日本）、BSMI（中國臺灣）、KC EMC（韓國）的 EMI/EMC 標準。憑借這些認證，Aston 現(xiàn)已面向全球客戶批量發(fā)貨。

Atonarp 與韓國 ATI 公司合作，為該地區(qū)客戶提供蝕刻、CVD、空間 ALD 和 Sub-fab 應用的綜合解決方案。

如您想了解關于 Atonarp Aston 系列產品的更多信息，請訪問： https://www.atonarp.com。

關于 Atonarp

Atonarp 通過數(shù)字分子分析技術，大力推進臨床診斷、生命科學研究、半導體和工業(yè)工藝控制等領域的發(fā)展。Aston 和 ATON 平臺利用創(chuàng)新質譜技術及先進的分析方法，得出實時、可操作的結果。我們的平臺可以應用于多個行業(yè)的各種應用。Atonarp 先進制造工藝中的原位高靈敏度分子計量，能幫助客戶實現(xiàn)更高產量、更高效率，以及更少浪費。我們的定量、無化學成分的多重診斷測試，可以在醫(yī)療點進行疾病診斷和監(jiān)測，從而以較低成本提高療效和病人滿意度。

關鍵詞： 解決方案 制造工藝 先進半導體 分子水平 光譜測量