半導(dǎo)體制造行業(yè)對(duì)水資源的需求極大,隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步,工藝越復(fù)雜,用水量也相應(yīng)增加。在全球節(jié)能減排的大趨勢(shì)和水資源日益短缺的情況下,半導(dǎo)體企業(yè)提高水資源利用效率,盡可能地使用高品質(zhì)的再生水替代自來水,成為降低成本、提高效率和保護(hù)水資源的關(guān)鍵途徑。高頻科技作為本土代表性的超純水企業(yè),專注于超純工藝技術(shù)的持續(xù)研發(fā)創(chuàng)新,確保在滿足工藝用水超純要求的同時(shí),推進(jìn)水資源的可持續(xù)利用。

廢水處理和再利用難度大,技術(shù)門檻高

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)水資源消耗量大這一課題,有專家學(xué)者認(rèn)為,應(yīng)通過推廣水資源循環(huán)利用技術(shù)及強(qiáng)化廢水處理等手段,來應(yīng)對(duì)行業(yè)用水挑戰(zhàn),促進(jìn)可持續(xù)發(fā)展。

然而,將這一理念轉(zhuǎn)化為實(shí)際行動(dòng),尤其是在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域,面臨著一些技術(shù)上的難點(diǎn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)的不同工序會(huì)產(chǎn)生多種廢水,如含氟、含磷、含氨、重金屬、有機(jī)和酸堿廢水,這些廢水中污染物的種類繁多、性質(zhì)復(fù)雜,且大多數(shù)廢水的生物可降解性較差。此外,除了要達(dá)到深度凈化的目標(biāo),保證再生水水質(zhì)能夠滿足嚴(yán)格的制造標(biāo)準(zhǔn)外,還需要在處理過程中考慮成本效益和操作的可行性,這對(duì)廢水處理和回用工藝提出了極高要求。

先進(jìn)廢水處理及回用水技術(shù),實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)與環(huán)保雙重效益

為了應(yīng)對(duì)以上挑戰(zhàn),高頻科技長(zhǎng)期專注于半導(dǎo)體水資源的管理,其推出的先進(jìn)廢水處理及回用水系統(tǒng),憑借對(duì)雜質(zhì)特性的精準(zhǔn)把握,采用多級(jí)化學(xué)混凝沉淀、氨氮吹脫及生物處理等先進(jìn)工藝,高效且經(jīng)濟(jì)地應(yīng)對(duì)了超過15種復(fù)雜多樣的芯片廢水,實(shí)現(xiàn)了污染物的深度去除,確保了處理效率與運(yùn)行成本的雙重優(yōu)化。

在回用水系統(tǒng)方面,高頻科技精心規(guī)劃工廠的用水平衡,通過前瞻性的設(shè)計(jì),成功實(shí)現(xiàn)了對(duì)30多道制程廢水的精細(xì)分流與高效回收。從純水再生濃水到低濃度氫氟酸廢水,再到研磨廢水、酸堿廢水及洗滌塔廢水,高頻科技均能提供針對(duì)性的解決方案,力求讓每一滴水都得到有效循環(huán)利用。目前,高頻科技已實(shí)現(xiàn)整廠用水制備回收率近90%,在確保水質(zhì)符合高標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí),幫助企業(yè)降本增效,增強(qiáng)可持續(xù)發(fā)展能力。

做好水資源管理,不僅是半導(dǎo)體行業(yè)降本增效的“密碼”,更是保障企業(yè)生產(chǎn)持續(xù)穩(wěn)定的重要基石。當(dāng)前,眾多半導(dǎo)體企業(yè)已前瞻性地將水資源管理策略擴(kuò)展至供應(yīng)鏈層面,要求供應(yīng)商共擔(dān)節(jié)水責(zé)任。以臺(tái)積電為例,該企業(yè)通過年度可持續(xù)管理自評(píng)問卷確立節(jié)水目標(biāo),并依據(jù)《供應(yīng)商行為準(zhǔn)則》嚴(yán)格監(jiān)控水資源使用與排放,積極挖掘節(jié)水潛力并推動(dòng)實(shí)施改進(jìn)措施。

作為聚焦于芯片制造等電子核心產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng)供應(yīng)商,高頻科技致力于水處理技術(shù)的革新與突破,已掌握先進(jìn)的電子級(jí)廢水處理與高效回用技術(shù),專注于為半導(dǎo)體企業(yè)提供定制化、高效能的水資源循環(huán)解決方案,助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)水資源的“循環(huán)增效”,共同推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。

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