歷時(shí)11個(gè)月建設(shè)期，最高峰時(shí)1500多人同步施工作業(yè)，23日，總建筑面積22.2萬(wàn)平方米的湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目竣工點(diǎn)亮儀式順利舉行，這標(biāo)志著湖南首個(gè)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園落成，國(guó)內(nèi)首條碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)線正式投產(chǎn)。

記者了解到，項(xiàng)目一期主要包含碳化硅長(zhǎng)晶、襯底、外延、芯片、器件封裝等廠房及相關(guān)配套設(shè)施建設(shè)，將成為推動(dòng)湖南新一代半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的強(qiáng)大動(dòng)力。作為長(zhǎng)沙產(chǎn)業(yè)鏈上的一顆“新星”，湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目蘊(yùn)藏著怎樣的奧秘?記者23日走進(jìn)該項(xiàng)目一探究竟。

潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)領(lǐng)先于行業(yè)

“為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求，生產(chǎn)車間必須達(dá)到潔凈車間的標(biāo)準(zhǔn)。”項(xiàng)目施工方、中建五局三公司項(xiàng)目執(zhí)行經(jīng)理周祥告訴記者，潔凈車間是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的有害空氣、微粒子、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)壓力、潔凈度、溫度、氣流速度與氣流分布、照明及噪音振動(dòng)、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的空間。

周祥進(jìn)一步解釋，潔凈標(biāo)準(zhǔn)一般按照一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)等劃分，數(shù)值越小，代表凈化級(jí)別越高。“普通公共場(chǎng)所殺菌消毒可參照三十萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，醫(yī)院ICU病房殺菌消毒參照十萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，而湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目半導(dǎo)體電子生產(chǎn)廠房M2B碳化硅芯片廠房為百級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，每立方英尺的空氣中大于等于0.5微米粒徑的粒子數(shù)量不超過(guò)100個(gè)，潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)上遠(yuǎn)遠(yuǎn)領(lǐng)先于行業(yè)。”

為了保證無(wú)塵潔凈室大面積生產(chǎn)車間的空氣潔凈度，需要建立潔凈空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)，車間樓板中需預(yù)留大量規(guī)則的圓柱形垂直孔洞，以形成回風(fēng)通道。這種利用樓板內(nèi)孔洞形成回風(fēng)通道的樓板結(jié)構(gòu)稱為華夫板，是一種鋼筋混凝土密肋梁鏤空樓板，此類樓板厚度可達(dá)700毫米。

將為長(zhǎng)沙產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入強(qiáng)“芯”劑

第三代半導(dǎo)體材料以其優(yōu)異電性能特性，幫助電源變換系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的功率密度和卓越的系統(tǒng)效率，使其在新能源汽車、光儲(chǔ)充等場(chǎng)景中發(fā)揮關(guān)鍵作用。湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園全面建成投產(chǎn)后，將形成兩條并行的碳化硅研發(fā)、生產(chǎn)全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)線，產(chǎn)品為高質(zhì)量、低成本、高穩(wěn)定性碳化硅襯底及各類器件，可廣泛用于新能源汽車、高鐵機(jī)車、航空航天和5G通訊等領(lǐng)域。

三安光電股份有限公司副董事長(zhǎng)、總經(jīng)理林科闖表示，湖南三安半導(dǎo)體的業(yè)務(wù)涵蓋襯底材料、外延生長(zhǎng)、晶圓制造及封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)，打造了國(guó)內(nèi)第一條、全球第三條碳化硅垂直整合產(chǎn)業(yè)鏈，為客戶提供高品質(zhì)準(zhǔn)時(shí)交付，兼具規(guī)?；a(chǎn)成本優(yōu)勢(shì)。

湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園的投產(chǎn)，將為長(zhǎng)沙注入強(qiáng)“芯”劑，憑借完整的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈布局和強(qiáng)大的制造平臺(tái)，項(xiàng)目將快速發(fā)展為具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、掌握核心技術(shù)與行業(yè)話語(yǔ)權(quán)、具有重要國(guó)際影響的碳化硅材料與器件產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)基地。有利于形成以長(zhǎng)沙高新區(qū)為中心的寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚落，加速上游IC設(shè)計(jì)公司設(shè)計(jì)與驗(yàn)證迭代，縮短下游終端產(chǎn)品上市周期，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈迅速發(fā)展。

據(jù)介紹，湖南三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目總投資160億元，總占地面積1000畝，項(xiàng)目建成達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值120億元，可直接提供4500個(gè)就業(yè)崗位，并帶動(dòng)上下游配套產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值預(yù)計(jì)超1000億元，提供近1萬(wàn)個(gè)就業(yè)崗位。

(全媒體記者 陳煥明 通訊員 王麗 楊灝)

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